Röntgenröhre (Cu, Mo, Co, ...) mit 0,04 x 12 mm2 Lang-Fein Fokus oder 0,4 x 0,4 mm2 Punktfokus
Probenteller: ortsfest, Ø = 150 mm
Szintillations-Detektor
Strahldivergenz: Δθ < 0,02 °
Verwendung von Ni/C - Göbelspiegeln zur: - Monochromatisierung und Unterdrückung der Fluoreszenzstrahlung - Unterdrückung der Cu-Kβ-Strahlung - Einfachen Justage und kurzen Messzeiten bei Parallelstrahlgeometrie
Einsatz
Röntgenreflektometrie an dünnen Schichtsystemen zur Bestimmung der Schichtdicke, Rauheit und Dichte
Röntgendiffraktometrie an Pulvern und polykristallinen Schichten zur qualitativen und quantitativen Phasenanalyse