© Fraunhofer IWS
Röntgen-Diffraktometer D8 Discover und D5005
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Anlage zur Puls-Laser-Deposition (PLD) von Nanometer-Multischichten auf Großflächen
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UHV-Clustertool zur Herstellung von Präzisions-Nanometer-Multischichten mittels MSD und PLD
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UHV-Ionenstrahlsputteranlage zur Nanometer-Präzisionsbeschichtung und -ätzung
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS