Ausstattung

Optische Spektrometer können vielseitige Informationen zu Proben und Materialien aller Art geben, so z. B. zur elektronischen Struktur, der Reflektivität und Absorption oder der chemischen Zusammensetzung. Verschiedene Zubehöre erlauben Untersuchungen an Gasen, Flüssigkeiten und Festkörpern.

Die bildgebende Spektroskopie vereint die Vorteile flächigen Abbildung von Proben und Oberflächen und dem zusätzlichen Informationsgewinn aus der Spektroskopie. Dadurch sind ortsaufgelöste Verteilungen und 100-Prozent-Kontrollen für in-line wie at-line Untersuchungen im Prozess-Monitoring möglich.

Dünnschichten zur Oberflächenfunktionalisierung sind von großem Interesse für elektronische Anwendungen. Um die Eigenschaften der Nanometer- und Mikrometer-Schichten aufzuklären sind spektroskopische Methoden wie die Ellipsometrie als Standard etabliert. Neben den optischen Konstanten lassen sich so auch Transparenz und Absorbanz bestimmen.