Technologien

Zur Präzisionsbeschichtung von EUV- und Röntgenoptiken stehen im IWS Dresden vielfältige Beschichtungsverfahren zur Verfügung. In Abhängigkeit von den abzuscheidenden Materialien und den geforderten Schichteigenschaften kommen folgende Technologien zum Einsatz:

• Ionenstrahl-Sputter-Deposition (IBSD)
• Magnetron-Sputter-Deposition (MSD)
• Puls-Laser-Deposition (PLD)

Für eine erfolgreiche Entwicklung von Beschichtungsprozessen ist die Charakterisierung der hergestellten Schichten unabdingbar notwendig. Die relevanten Fragestellungen sind dabei:

• Schichtdicken und -dichten
• Schichtmikrostrukturen
• Oberflächenrauheiten
• Reflexionsspektren, insbesondere Reflexionsgrade
• Eigenspannungen
• Konturen optischer Oberflächen