Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
Vakuum-Bogenverdampfer im reaktiven Modus.
Verfahren der Physikalischen Dampfphasenabscheidung (engl. Physical Vapor Deposition, PVD) ermöglichen die Abscheidung hochwertiger tribologischer und funktioneller Schichten im Dickenbereich von wenigen Nanometern bis zu einigen zehn Mikrometern. Dazu stehen im Fraunhofer IWS Verfahren von der Hochrate-Bedampfung bis hin zu hochaktivierten Plasmaverfahren sowie deren Kombinationen zur Verfügung. Einen besonderen Schwerpunkt bildet die umfassende Nutzung von Bogenentladungen als der effektivsten Quelle energiereicher Dampfstrahlen.
Unser Leistungsangebot umfasst:
- Anwendungsbezogene Schichten und Prozesse
- Simulation von Arc- Beschichtungsprozessen
- Schlüsselkomponenten für Beschichtungsanlagen
- Beratung