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Kugel-Scheibe-Prüfanordnung für die tribologische Charakterisierung
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REM-Aufnahme eines Querschnitts von einem Kohlenstoff-Chrom-Mehrlagenstapel
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Schichtdickenbestimmung mittels Kalottenschliff an einer Kohlenstoffschicht mit komplexen Unterbau
Tribometer
- Prüfung von Reibung, Verschleiß
- Bewegung: Rotierend, oszillierend
- Last: 1…2000 N
- Frequenz: 1 … 500 Hz
- Temperaturen: -5…350°C
- Schmierung: Tröpfchen, Wanne, trocken, kontrollierte Atmosphäre, Vakuum
- Geräte: SRV4 (Optimol Instruments), SVT (Wazau), Basalt UHVT-14 (Tetra)
LAwave-Messsystem
- Laser-akustische Oberflächenwellen-Spektroskopie für elastische Konstanten, Schichtdicke, Störtiefen, Einhärttiefe, u.a.
- verschiedene Sensoren für Schichtdicken im Bereich von 3 nm bis 500 µm
- Geräte: Standgerät und mobiles Tischgerät
Ritztester
- Haftfestigkeit
- Diamantindenter mit Rockwell-Geometrie mir Radius 50, 100, 200 und 500 µm
- Normalkraftbereich 10…100 N
Nano- und Mikromechanisches Prüfgerät
- Instrumentierte Eindringprüfung („Nanoindentation“) und Ritztest
- Eindringhärte und -modul, Haftfestigkeit, Reibkraft, akustische Emission
- Normalkraftbereich 0,01…30 N
- Indentergeometrien: Berkovich, Kugel mit Radius 10, 20, 50 und 100 µm
- 2 Geräte: ZHN (Zwick/Roell), MCT3 (Anton Paar)
Kalottenschleifgerät
- Schichtdickenbestimmung durch Kalottenschliffverfahren
- Vollautomatischer Programmablauf für bis zu 10 Kalotten bei automatischer Zuführung der Schleifsuspension
- Verwendung auch zur tiefenaufgelösten Messstellenpräparation für die Instrumentierte Eindringprüfung
- Schleifdauer 1 min bis 20 h
- Gerät: KSG 110 (Inovap)
Kontaktmechanische Simulation
- Software FilmDoctor Studio X
- Schichtsysteme mit bis zu 5 Einzelschichten
- Berücksichtigung und Berechnung von Eigenspannungen
- Kontaktfälle z.B. Nanoindentation, tribologische Prüfung, Ritztest, mit Import und Berücksichtigung experimentell ermittelter Daten
Wir nutzen unter anderem auch Ressourcen anderer Geschäftsfelder.
Ramanspektroskopie
- Beispiel: Charakterisierung der Konfiguration und Hybridisierung von amorphen Kohlenstoffschichten (a-C:H, a-C, ta-C)
Mikroskopie/Bildgebende Verfahren
- Lichtmikroskopie, auch Differential Interference Contrast (DIC)
- 3D-Mikroskopie (konfokal, interferometrisch)
- Rasterelektronenmikroskopie, Energiedispersive Röntgenspektroskopie (REM, EDX)