Leistungsangebot

• Muster- und Kleinserienbeschichtung von Werkzeugen, Bauteilen und Komponenten mit Diamor^®-Schichten
• Entwicklung angepasster ta-C-basierter Schichtsysteme für spezielle Anwendungen
• Beratung zu ta-C-Anwendungen und zur ta-C-Beschichtungstechnik
• Durchführung von tribologischen Untersuchungen (Reibwert- und Verschleißmessung)
• Durchführung von Schichtanalysen (insbesondere E-Modul-Messung) mittels LAwave
• Durchführung topografischer und struktureller Charakterisierungen

Beschichtungsmodul LAM 400 und LAM 500

(für 400 bzw. 500 mm Beschichtungshöhe, auf Basis der Laser-Arc^TM-Technologie)

Das LAM wurde speziell für die industrielle Abscheidung von superharten ta-C Kohlenstoffschichten entwickelt, erlaubt aber die Abscheidung aller mittels Arc-Technologie abscheidbaren Schichten. Das Modul kann an handelsüblichen PVD-Beschichtungsanlagen anstelle der konventionellen rechteckigen Arc- oder Sputterquellen angesetzt werden. Für das LAM 500 ist zusätzlich ein Plasmafilter lieferbar. Das IWS kooperiert mit mehreren PVD-Anlagenherstellern, die Komplettanlagen mit integriertem LAM 500 anbieten.

LAwave

Laserakustisches Messsystem LAwave zur Charakterisierung von Schichten und Oberflächen. Typische Anwendungsbeispiele sind:

• Messung von E-Modul und Schichtdicke ultradünner und dünner Schichten
• Bestimmung der Porosität und Defektdichte in thermisch gespritzten Schichten
• Störtiefenbestimmung an Halbleiter-Wafern nach Sägen, Schleifen und Polieren
• Härtetiefenbestimmung an gehärteten Bauteilen